體積小巧、動態(tài)優(yōu)異、超高精度、免維護(hù)、壽命長
MMS42系列微型直線平臺：
采用了特殊定制的音圈電機(jī)，結(jié)合高分辨率光柵和精密交叉滾柱導(dǎo)軌,
特別適合一些對體積非常敏感的應(yīng)用場景；
采用靜音防蠕動導(dǎo)軌，可確保微小步距控制,
使用指定驅(qū)動器時，在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，速度的測試數(shù)據(jù)波動低于1‰；
有非常優(yōu)秀的動態(tài)性能及超高的精度；
使用壽命超長，長時間免維護(hù)使用。
| 參數(shù)/型號 | MMS42 | ||
| 電機(jī)類型 | 音圈電機(jī) | ||
| 光柵類型 | 增量式光柵0.1μm(可選最高1nm光柵，絕對值選配) | ||
| 電機(jī)推力 | 額定1N；峰值2.5N | ||
| 加速度（空載） | 4G | ||
| 材質(zhì) | 鋁合金6016-T6（可選不銹鋼） | ||
| 行程 mm | 20 | ||
| 最小步長 nm | 20nm（光柵分辨率高于4.88nm） | ||
| 定位精度 μm | ±1μm(校準(zhǔn)±0.5μm） | ||
| 重復(fù)定位精度 μm | ±0.1μm(±50nm對應(yīng)5nm以上光柵） | ||
| 最大速度 mm/s | 200 mm/s | ||
| 最大負(fù)載 kg | 1kg | ||
